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技術資料

等離子清洗機去除金屬氧化物原理

等離子清洗機去除金屬氧化物

化學清洗:表面反應以化學反應為主的等離子體清洗,又稱PE

例:O2e-→ 2O +e     O※+有機物→CO2+H2O

從反應式可見,氧等離子體通過化學反應可使非揮發性有機物變成易揮發的H2OCO2

例:H2+e-2H+e-      H+非揮發性金屬氧化物→金屬+H2O

從反應式可見,氫等離子體通過化學反應可以去除金屬表面氧化層,清潔金屬表面。

物理清洗:表面反應以物理反應為主的等離子體清洗,也叫濺射腐蝕(SPE)。

例:Are-Ar++2e-       Ar++沾污→揮發性沾污【真空等離子清洗機】

Ar+在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產生動能,然后轟擊被清洗工件表面,一般用于去除氧化物、環氧樹脂溢出或是微顆粒污染物,同時進行表面能活化。【等離子清洗機】

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等離子清洗機

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