等離子清洗設備不起輝

設備不起輝主要有兩個方面：一是真空度不夠，儀器正常工作時真空度一般在70-100Pa之間。二是主機設備出現故障，你可以找一個短一點的日光燈管代替反應艙。將其放入艙體內。開主機電源、開功率旋鈕，觀察燈管是否有產生輝光。（此時反應艙體應該為常壓，即不抽真空）如果燈管沒有產生輝光，即儀器有問題，檢查射頻電源等相關電子部分（最好請廠家幫助檢查）。如果燈管產生輝光即真空部分有問題，檢查真空系統（如真空管接口是否松動，真空管是否老化漏氣等等）。